Podsumowanie
Przepływomierz masy jest bardzo kluczowym elementem urządzeń do produkcji półprzewodników. Stabilność jego pracy często jest kluczowym czynnikiem sukcesu i porażki procesu półprzewodnika.
HORIBA STEC, Jako globalny producent przepływomierzy z udziałem w rynku przekraczającym 35%*1 od dawna oferujemy wysokiej jakości i wszechstronne produkty dla przemysłu półprzewodnikowego. Dzięki całkowicie nowej technologii HORIBA STEC wprowadza na cały świat nowy typ kontrolera przepływu masy: serię Z500.
W porównaniu do starszych modeli, seria Z500X osiągnęła zupełnie nowy przełom i jest przeznaczona na zmianę przyszłości technologii kontroli przepływu. Oferując wszystkie wymagane przez klienta funkcje kontroli przepływu, umożliwia się konwersję przepływu gazów złożonych i złożonych. Klienci mogą łatwo zmieniać rodzaj i zakres pomiaru przepływu gazu w zależności od potrzeb procesu*2.
Ponadto dzięki innowacjom technologicznym w materiałach produktów, seria Z500 w pełni spełnia wymogi projektowe RoHS dla produktów ekologicznych, zwiększając wartość produktu dla klientów.
Wysokowydajne przepływomierze z serii Z500 zaskoczą Cię jeszcze więcej. Świat jest świadkiem powstania nowego przepływomierza masy, który zmieni cały przemysł półprzewodników.
*1 Zobacz badania VLSI z 2007 roku.
*2 Funkcja przepływu gazu złożonego i złożonego.
Cechy
Wysoka dokładność: ustawienie wartości przepływu ± 1,0%.
Liniowa dokładność MFC jest kompensowana krzywą wielopoziomową przybliżenia, która gwarantuje wysoką dokładność kontroli w różnych zakresach kontroli. Aby poprawić dokładność kontroli różnych rodzajów gazów, HORIBA STEC opracowała standardowy system pomiaru gazu i gromadziła dane kalibracyjne różnych gazów procesowych na podstawie wielu eksperymentów.
Wysoka szybkość reakcji
SEC-Z500X wykorzystuje najnowszy opracowany system „zmienny PID”, który gwarantuje, że zmiana pomiędzy dowolnymi dwoma ustawionymi punktami przepływu jest dokonywana w ciągu 1 sekundy.
Gazy kompozytowe, rozwiązania przepływu kompozytowego
Nowe produkty HORIBA STEC umożliwiają klientom łatwą zmianę rodzaju gazu i przepływu na miejscu. Nasze oprogramowanie do konfiguracji Z500 jest proste i łatwe w użyciu. Co więcej, ukończenie tych zmian nie wymaga nawet demontażu MFC z systemu. Dzięki temu można znacznie zmniejszyć ilość zapasów klienta, zaoszczędzając czas i koszty.
Produkty i inne