Ultra-mikroczujnik ciśnienia CYG502 o nominalnej średnicy zewnętrznej 2 mm został zaprojektowany specjalnie do zastosowań wymagających mniejszych rozmiarów instalacyjnych w eksperymentach z mechaniką płynów. Jest to najmniejszy czujnik ciśnienia, który obecnie wprowadzamy na rynek.

Komponenty wrażliwe na ciśnienie CYG502 zostały zaprojektowane i wyprodukowane przy użyciu zaawansowanej technologii MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Zintegrowane trójwymiarowe, dwustronne elementy czułe na ciśnienie krzemowe mają doskonałą precyzję liniową. Wysoka spójność mostu naprężeniowego Whiston wykonanego w technologii wtrysku jonowego i delikatnej fotografii sprawia, że ma niewielkie odchylenia temperatury. Zastosowanie technologii bezpośredniego wiążenia krzemu-krzemu, odwrócona konstrukcja szczeliny V, dzięki czemu można zoptymalizować rozmiar cienkiej folii układu, zmniejszyć cały rozmiar układu do rozmiaru 1 x 1 mm, a wrażliwość wyjściowa może nadal osiągnąć zakres 100 kpa, aby osiągnąć kluczowy przełom w realizacji ultramikroczujników.

Zmiana wiążenia krzemu-szkła w tradycyjnym projekcie na wiążenie krzemu-krzemu poprawiła efekt dopasowania ciepła i zmniejszyła niestabilność zerową spowodowaną naprężeniem.

Obecnie dostępne są produkty typu pomiaru absolutnego ciśnienia, a typ nadciśnienia jest opracowywany.

CYG502A czujnik ciśnienia ultramikroskopowego typu bezciśnieniowego ma kształt sondy, standardową średnicę zewnętrzną Ф2,15 mm, długość 18 mm, opcjonalny zakres czujnika to ciśnienie bezwzględne 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa.

Czujnik ciśnienia izolacyjnego CYG502A jest podtrzymywany naprzód wrażliwymi elementami. W związku z tym stosuje się tylko do suchych gazów, które nie są korozyjne i nieprzewodne. Ma dość szeroki obszar temperatury roboczej, do -55 ° C ~ + 120 ° C, ma również bardzo doskonałe cechy dynamiczne wysokiej częstotliwości, jego najniższy zakres częstotliwości wrażliwych elementów > 200 kHz, czas wzrostu jest submikrosekund.

1, parametry wskaźników wydajności

Wyjście pełnego zasięgu: minimalna wartość 30mv typowa wartość 80mv maksymalna wartość 130mv

Impedancja wejściowa i wyjściowa: minimalna wartość 3 kΩ typowa wartość 5 kΩ maksymalna wartość 7 kΩ

Prąd roboczy wejściowy: 1,5 mA (typ napięcia pomiarowego) 1 mA (typ napięcia absolutnego) (źródło stałego prądu)

Zakres temperatury pracy: -55 ℃ ~ + 120 ℃

Zakres temperatury kompensacyjnej: -10 ℃ ~ + 80 ℃

Zdolność przeciążenia: 200% zasięgu nominalnego

Czułość na przyspieszenie: < 0,001% FS / g

Wymiary: CYG502A